ここ最近、TimeMachineのバックアップが失敗する事象が多発していました。
バックアップデータが壊れたのかと、一旦TimeMachineを停止し、TimeCapsele上のバックアップファイルを削除し、再度TimeMachineを実行しても、上記と同じエラーが出てしまいます。
原因はしばらくわからなかったのですが、コンソールアプリでエラーログを眺めていたところ、
バックアップできないとエラーが出ているのがOneDriveのディレクトリに集中しています。
そういえば、OneDriveのファイルオンデマンド機能を有効にする前はこうなっていなかった記憶があります。
OneDriveのダンロード履歴を見ると、バックアップに失敗した時間帯にダウンロードした形跡がありました。
そこで、OneDriveのディレクトリをバックアップから除外する設定にしたところ、
正常にバックアップされるようになりました。無事解決です。